国家/地区 美国(13)
IPC部 H(9) C(5) G(4)
IPC大类 H01(8) G01(4) C01(3)
C25(2)
IPC小类 H01L(7) C01B(3) G01N(3)
C25D(2)
IPC H01L029/16(6) H01L029/66(6) H01L029/786(5)
H01L029/423(4) C01B031/04(3) H01L029/49(3)
C25D003/12(2) C25D005/18(2) C25D005/48(2)
C25D005/54(2) C25D007/00(2) G01N027/30(2)
H01L029/10(2) H01L029/778(2)
发明人 LIN S(13)
公开年 2021(4) 2016(2) 2023(2)
申请年 2021(4)  2019(2)  2022(2) 
专利权人 TAIWAN SEMIC.(5) UNIV TAIWAN .(4) UNIV NAT TSI.(2)