国家/地区 中国(15) 台湾(5) 美国(5)
IPC部 C(10) H(10) B(5)
G(3)
IPC大类 H01(10) C01(5) B01(4)
G03(3) B82(2) C02(2)
C23(2)
IPC小类 H01L(7) C01B(5) B01J(4)
G03F(3) H01M(3) B01D(2)
B82Y(2) C02F(2) C23C(2)
IPC C01B032/184(4) G03F001/62(3) H01L021/033(3)
B01D053/02(2) B01J020/20(2) B01J020/30(2)
C01B031/04(2) C02F001/28(2) G03F001/22(2)
G03F001/64(2) H01L033/00(2) H01M004/36(2)
H01M004/58(2) H01M004/587(2)
发明人 LIN Z(17)
公开年 2016(7) 2017(6) 2018(4)
申请年 2016(17)
专利权人 TAIWAN SEMIC.(3) SUZHOU JULIA.(2) UNIV CHUNG Y.(2)