国家/地区 韩国(17) 美国(10) 中国(4) 欧洲专利局(EPO)(3) 世界知识产权组织(2)
IPC部 H(11) C(8) B(4)
IPC大类 H01(11) C01(7) B82(4)
C23(3)
IPC小类 C01B(7) H01L(6) B82B(3)
C23C(3) H01J(3) H01G(2)
IPC C01B031/04(6) H01L029/16(4) H01L029/78(4)
B82B003/00(3) H01J001/30(3) H01J001/304(3)
H01J009/02(3) H01L029/66(3) C23C016/18(2)
H01J001/308(2) H01L029/165(2) H01L029/267(2)
H01L029/778(2) H01L031/0224(2) H01L031/028(2)
发明人 PARK S(17)
公开年 2015(8) 2014(6) 2016(3)
申请年 2014(17)
专利权人 SAMSUNG ELEC.(8) KUMOH NAT IN.(3) AICT(2) KUMOH NAT IN.(2)
PURITECH CO .(2) UNIV SEOUL N.(2) UNIV SUNGKYU.(2)