国家/地区 中国(12)
IPC部 C(7) H(4) B(2)
G(2)
IPC大类 H01(4) C01(3) C25(3)
B82(2) G02(2)
IPC小类 C01G(3) C25D(3) B82Y(2)
H01L(2) H01S(2)
IPC C01G023/00(3) B82Y030/00(2) C25D015/00(2)
H01L021/768(2)
发明人 REN Z(12)
公开年 2014(6) 2015(6)
申请年 2014(12)
专利权人 UNIV ZHEJIAN.(6) INST SEMICON.(2) UNIV NORTHWE.(2)