国家/地区 中国(17)
IPC部 C(15) H(5) B(3)
IPC大类 C01(13) H01(5) B82(3)
C23(2)
IPC小类 C01B(13) H01L(5) B82Y(3)
C23C(2)
IPC C01B032/184(7) C01B031/04(5) B82Y040/00(3)
C01B032/19(3) C23C014/35(2) H01L031/18(2)
发明人 TANG L(17)
公开年 2017(4) 2011(3) 2016(3) 2018(2) 2019(2) 2022(2)
申请年 2016(5)  2011(3)  2019(3)  2018(2) 
专利权人 KUNMING PHYSICS INST(17)