国家/地区 中国(21) 美国(2)
IPC部 C(16) B(8) H(5)
A(2)
IPC大类 C01(11) B82(6) H01(5)
C30(3) B01(2) C08(2)
C23(2)
IPC小类 C01B(11) B82Y(6) C30B(3)
H01G(3) B01J(2) C08F(2)
C23C(2) H01L(2)
IPC C01B031/04(11) B82Y040/00(6) B82Y030/00(3)
C23C016/26(2) H01L021/336(2) H01L029/78(2)
发明人 WANG H(22)
公开年 2012(22)
申请年 2012(14)  2011(6)  2010(2) 
专利权人 UNIV DONGHUA(6) UNIV ZHEJIAN.(4) INST MICROEL.(2) UNIV SHANGHA.(2)
UNIV XIDIAN(2) WANG H(2)