国家/地区 中国(16) 世界知识产权组织(3)
IPC部 C(10) H(5)
IPC大类 C01(8) H01(5) C23(4)
C30(3)
IPC小类 C01B(8) H01L(5) C23C(4)
C30B(3)
IPC C01B031/04(7) C23C016/26(4) H01L021/28(3)
H01L021/283(2)
发明人 XIE X(16)
公开年 2012(8) 2013(8)
申请年 2012(16)
专利权人 CHINESE ACAD.(13) SHANGHAI INS.(10) CHINESE ACAD.(3)