| 国家/地区 | 中国(16) 世界知识产权组织(3) |
| IPC部 | C(10) H(5) |
| IPC大类 |
C01(8)
H01(5)
C23(4)
C30(3) |
| IPC小类 |
C01B(8)
H01L(5)
C23C(4)
C30B(3) |
| IPC |
C01B031/04(7)
C23C016/26(4)
H01L021/28(3)
H01L021/283(2) |
| 发明人 |
XIE X(16)
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| 公开年 | 2012(8) 2013(8) |
| 申请年 |
2012(16)
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| 专利权人 | CHINESE ACAD.(13) SHANGHAI INS.(10) CHINESE ACAD.(3) |
CHEN D, DI Z, DING G, GUO Q, WANG G, XIE X, YE L, ZHANG M
DING G, JIANG M, LI X, SUN J, WU T, XIE X
KANG X, LIU X, SUN Q, WANG H, XIE H, XIE X
CHEN Z, LIU X, WANG H, XIE H, XIE X, YU G, ZHANG Y
CHEN D, DI Z, DING G, WANG G, XIE X, ZHANG M, ZHU Y
SHEN D, WANG H, XIE X, YANG X, ZHANG Y
WANG H, XIE X, YANG X, ZHANG Y
DING G, DU F, JIANG M, XIE X
