国家/地区 中国(18) 世界知识产权组织(2)
IPC部 C(11) H(7) B(2)
IPC大类 C01(11) H01(7) B82(2)
IPC小类 C01B(11) H01L(6) B82Y(2)
IPC C01B031/04(11) H01L021/28(4) H01L021/283(2)
H01L021/336(2) H01L029/78(2)
发明人 XIE X(18)
公开年 2013(18)
申请年 2013(10)  2012(8) 
专利权人 SHANGHAI INS.(9) CHINESE ACAD.(8) UNIV SOUTHEA.(4) CHINESE ACAD.(3)