国家/地区 中国(10)
IPC部 C(7) B(3) H(2)
IPC大类 C01(3) B01(2) C23(2)
C25(2) H01(2)
IPC小类 C01B(3) C23C(2) H01L(2)
IPC C01B032/194(2) C01B032/198(2)
发明人 XUE Z(10)
公开年 2022(10)
申请年 2022(10)
专利权人 BEIJING GRAP.(2) UNIV PEKING(2) UNIV SOOCHOW(2)