国家/地区 中国(9)
IPC部 C(6) G(2) H(2)
IPC大类 C30(4) C01(2) G01(2)
H01(2)
IPC小类 C30B(4) C01B(2) G01N(2)
H01L(2)
IPC C30B029/02(3) C01B031/04(2) C30B025/18(2)
发明人 YU G(9)
公开年 2015(9)
申请年 2014(5)  2015(4) 
专利权人 SHANGHAI INS.(7)