国家/地区 中国(11)
IPC部 G(8) H(3) B(2)
IPC大类 G01(7) H01(3) B01(2)
IPC小类 G01N(3) H01L(3) B01D(2)
G01J(2)
IPC H01L043/10(3) B01D053/22(2) B01D067/00(2)
G01J001/42(2) H01L043/08(2)
发明人 YU M(13)
公开年 2021(8) 2022(3)
申请年 2021(6)  2022(3)  2020(2) 
专利权人 YU M(13)