国家/地区 美国(10)
IPC部 B(7) C(6) H(4)
IPC大类 B01(6) C01(4) H01(4)
C02(3) C23(2)
IPC小类 B01D(6) C01B(4) H01L(4)
C02F(3) C23C(2)
IPC B01D071/02(5) B01D067/00(4) B01D069/12(4)
C02F001/44(3) H01L021/02(3) H01L029/16(3)
B01D053/22(2) B01D061/02(2) B01D069/10(2)
C01B031/04(2) C23C016/26(2) H01L021/336(2)
H01L029/24(2) H01L029/417(2) H01L029/66(2)
发明人 YU M(10)
公开年 2015(2)
申请年 2014(2)  2015(2) 
专利权人 UNIV SOUTH C.(5) SAMSUNG ELEC.(2)