国家/地区 台湾(9)
IPC部 B(5) C(5) H(4)
IPC大类 B82(5) C01(5) H01(4)
B81(2)
IPC小类 C01B(5) B82Y(4) B82B(3)
B81C(2) H01J(2) H01L(2)
IPC B82Y040/00(4) B82B003/00(3) B82Y030/00(3)
C01B032/182(3) B81C001/00(2) C01B031/02(2)
C01B032/184(2) C01B032/188(2) C01B032/19(2)
C01B032/196(2) H01J037/26(2) H01L021/02(2)
H01L021/04(2) H01L021/335(2) H01L021/78(2)
发明人 ZHANG L(9)
公开年 2022(4) 2011(2) 2015(2)
申请年 2021(3)  2009(2)  2014(2) 
专利权人 HON HAI PREC.(9) UNIV TSINGHU.(6) HONGFUJIN PR.(4) FAN S(2)
JIANG K(2) LIN X(2) LIU P(2) ZHANG L(2)