国家/地区 中国(10)
IPC部 C(5) H(5)
IPC大类 H01(5) C01(4) C23(2)
IPC小类 C01B(4) H01L(3) C23C(2)
H01G(2)
IPC C01B031/04(3) H01G009/042(2) H01L027/15(2)
发明人 ZHANG X(10)
公开年 2011(8) 2010(2)
申请年 2010(10)
专利权人 CHINESE ACAD.(3) CHINESE ACAD.(3) UNIV PEKING(2)