国家/地区 中国(18)
IPC部 C(12) H(7) B(5)
IPC大类 C01(9) H01(7) B82(4)
C30(3)
IPC小类 C01B(9) B82Y(4) H01L(4)
C30B(3)
IPC C01B031/04(6) B82Y040/00(3) C01B031/02(3)
C30B029/02(3) H01L021/04(2) H01L023/522(2)
发明人 ZHAO Y(18)
公开年 2012(18)
申请年 2012(14)  2011(4) 
专利权人 UNIV XIDIAN(7) SHANGHAI IC .(2) SHANGHAI INT.(2) UNIV SHANGHA.(2)