国家/地区 | 中国(4) 美国(3) 世界知识产权组织(3) 欧洲专利局(EPO)(2) |
IPC部 |
B(8)
H(5)
G(4)
C(3) |
IPC大类 |
B82(8)
H01(5)
G06(3)
C01(2) C23(2) G01(2) |
IPC小类 |
B82Y(8)
H01L(5)
C01B(2)
C23C(2) G06F(2) G06N(2) |
IPC |
B82Y010/00(8)![]() |
发明人 | |
公开年 | 2022(4) 2023(4) |
申请年 |
2022(8)![]() |
专利权人 |
LI J, SCHEURER M S, LIN J, SIRIVIBOON P, MORISSETTE E
KIM C, KIM U, JUNG A, BYUN K, JIN Y, JIN C, JUNG A R, BYUN K E
ZHENG M, LI X, DING W, ZHOU X, LIU W
ZERGIOTI I, PAPAZOGLOU S, ZACHARATOS F, LOGOTHETI A, PESQUERA A, ZURUTUZA A, NAVEH D
CHEN L, LIU G, ZHENG C, XIAO L, LUO Y, CHEN Y
STORBECK O, SCHULZE H, SCHLOESSER T, MURI I, SIEMIENIEC R, STOBECK O, SCHLOSSER T
THOTA N, THEJOMOORTHY K, SHARMA M, DEVARAPU C S, BHAVANI P, BAJIVALI S, POKALA R K V, SUBBARAYAN V, MANJULA M, RAO C M M P, BOORA S