国家/地区 中国(4) 美国(3) 世界知识产权组织(3) 欧洲专利局(EPO)(2)
IPC部 B(8) H(5) G(4)
C(3)
IPC大类 B82(8) H01(5) G06(3)
C01(2) C23(2) G01(2)
IPC小类 B82Y(8) H01L(5) C01B(2)
C23C(2) G06F(2) G06N(2)
IPC B82Y010/00(8)
发明人
公开年 2022(4) 2023(4)
申请年 2022(8)
专利权人