国家/地区 美国(15)
IPC部 C(15)
IPC大类 C23(15)
IPC小类 C23C(15) C01B(10) B82Y(4)
B01J(3) H01L(3) C25D(2)
G01L(2) G01N(2) H01J(2)
IPC C23C014/02(15)
发明人 BOYD D A(2) LEE J(2) LEE J H(2)
LIPOMI D J(2) MERCOLA M(2) MOLOKANOVA E(2)
SAVTCHENKO A(2) ZARETSKI A(2)
公开年 2021(3) 2013(2) 2014(2) 2020(2) 2022(2)
申请年 2011(3)  2020(3)  2013(2)  2021(2) 
专利权人 CALIFORNIA I.(2) SAMSUNG ELEC.(2) UNIV CALIFOR.(2)