国家/地区 中国(8)
IPC部 C(9)
IPC大类 C23(9) H01(3) B01(2)
C04(2)
IPC小类 C23C(9) B01J(2) C04B(2)
H01L(2)
IPC C23C014/08(9)
发明人
公开年 2022(9)
申请年 2022(9)
专利权人