| 国家/地区 | 中国(15) 韩国(3) 美国(3) 世界知识产权组织(3) |
| IPC部 |
C(20)
|
| IPC大类 |
C23(20)
C01(5)
H01(5)
C22(4) C25(4) B01(2) B22(2) B82(2) G01(2) |
| IPC小类 |
C23C(20)
C01B(5)
C22C(3)
H01L(3) B01J(2) B22F(2) B82Y(2) C25D(2) |
| IPC |
C23C014/18(20)
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| 发明人 |
LI L(2)
LI Z(2)
WU G(2)
ZHU Y(2) |
| 公开年 |
2021(20)
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| 申请年 | 2021(12) 2020(7) |
| 专利权人 |
GUO X, JI D, XU W, GAO G, CAO L, FANG X
KIM T S, SEOK H H, LEE I, WOO K H
JU B, CHEN G, LIU M, YANG W, WU G, XIU Z
LIU D, WANG J, SHENG H, LI Z, ZHU Y, LV G
YU X, TIAN Z, LI M, YU D, REN Z, REN L, FU Y
ZHANG J, ZHANG L, WU G, LIU W, ZHANG X
