国家/地区 中国(15) 韩国(3) 美国(3) 世界知识产权组织(3)
IPC部 C(20)
IPC大类 C23(20) C01(5) H01(5)
C22(4) C25(4) B01(2)
B22(2) B82(2) G01(2)
IPC小类 C23C(20) C01B(5) C22C(3)
H01L(3) B01J(2) B22F(2)
B82Y(2) C25D(2)
IPC C23C014/18(20)
发明人 LI L(2) LI Z(2) WU G(2)
ZHU Y(2)
公开年 2021(20)
申请年 2021(12)  2020(7) 
专利权人