国家/地区 中国(11) 美国(9) 日本(4) 韩国(4) 世界知识产权组织(4) 澳大利亚(2) 欧洲专利局(EPO)(2)
IPC部 B(17)
IPC大类 C23(17) B82(10) C01(8)
B01(4) B32(4) H01(4)
C25(3) A61(2) C30(2)
G01(2)
IPC小类 C23C(17) B82Y(9) C01B(8)
B32B(4) B01J(3) C25D(2)
C30B(2) G01N(2) H01G(2)
H01L(2)
IPC C23C014/30(17)
发明人 LIPOMI D J(2) MEYER J C(2) ZARETSKI A(2)
ZETTL A K(2) ZHANG J(2)
公开年 2021(4) 2012(3) 2016(2) 2018(2) 2023(2)
申请年 2016(3)  2020(3)  2022(3)  2012(2)  2017(2) 
专利权人 UNIV CALIFOR.(5) UNIV XIDIAN(2)