国家/地区 中国(10)
IPC部 C(12)
IPC大类 C23(12) H01(4) C01(2)
C30(2) G01(2)
IPC小类 C23C(12) H01L(4) C01B(2)
C30B(2) G01N(2)
IPC C23C014/30(12)
发明人 HU J(2) LI P(2) ZHANG X(2)
公开年 2022(12)
申请年 2021(7)  2022(5) 
专利权人