国家/地区 中国(10)
IPC部 C(10)
IPC大类 C23(10) H01(4) C01(2)
C30(2)
IPC小类 C23C(10) H01L(4) C01B(2)
C30B(2)
IPC C23C014/30(10)
发明人 HU J(2) LI P(2) ZHANG X(2)
公开年 2022(10)
申请年 2021(5)  2022(5) 
专利权人