| 国家/地区 | 美国(7) 中国(4) 韩国(4) |
| IPC部 |
C(10)
|
| IPC大类 |
C23(10)
C01(7)
H01(5)
B32(3) C25(2) C30(2) |
| IPC小类 |
C23C(10)
C01B(7)
B32B(3)
H01L(3) C25D(2) C30B(2) |
| IPC |
C23C014/34(10)
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| 发明人 | ZHANG X(2) |
| 公开年 |
2016(10)
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| 申请年 | 2016(6) 2015(4) |
| 专利权人 |
HAM M, SON M, HAM M H, SON M W, XIAN W, SUN M
ZARETSKI A, LIPOMI D J
YAGER T A, ROBINSON J
KU J, KO W, KIM H, KU J Y, KO W H, KIM H W
