国家/地区 美国(7) 中国(4) 韩国(4)
IPC部 C(10)
IPC大类 C23(10) C01(7) H01(5)
B32(3) C25(2) C30(2)
IPC小类 C23C(10) C01B(7) B32B(3)
H01L(3) C25D(2) C30B(2)
IPC C23C014/34(10)
发明人 ZHANG X(2)
公开年 2016(10)
申请年 2016(6)  2015(4) 
专利权人