国家/地区 美国(8)
IPC部 C(8)
IPC大类 C23(8) C01(5) B05(3)
B32(3) B82(3) H01(3)
C30(2)
IPC小类 C23C(8) C01B(5) B05D(3)
B32B(3) B82Y(3) H01L(3)
C30B(2)
IPC C23C014/48(8)
发明人 VEERASAMY V(2) VEERASAMY V S(2)
公开年 2010(2) 2011(2)
申请年 2009(2)  2012(2) 
专利权人 GUARDIAN GLA.(2) GUARDIAN IND.(2)