| 国家/地区 |
美国(8)
|
| IPC部 |
C(8)
|
| IPC大类 |
C23(8)
C01(5)
B05(3)
B32(3) B82(3) H01(3) C30(2) |
| IPC小类 |
C23C(8)
C01B(5)
B05D(3)
B32B(3) B82Y(3) H01L(3) C30B(2) |
| IPC |
C23C014/48(8)
|
| 发明人 | VEERASAMY V(2) VEERASAMY V S(2) |
| 公开年 | 2010(2) 2011(2) |
| 申请年 | 2009(2) 2012(2) |
| 专利权人 | GUARDIAN GLA.(2) GUARDIAN IND.(2) |
MIN E H, CHO S H, CHOI B K, HONG M E, HO C S, KEUN C B, CHO S
VEERASAMY V S, VEERASAMY V
KUB F J, ANDERSON T, FEYGELSON B N
VEERASAMY V S, VEERASAMY V
RAMAPPA D A, SULLIVAN P, RAMAPPA D
