国家/地区 中国(4) 美国(3) 欧洲专利局(EPO)(2)
IPC部 C(9)
IPC大类 C23(9)
IPC小类 C23C(9) C01B(5) B82Y(3)
H01L(2)
IPC C23C016/01(9)
发明人
公开年 2021(4) 2022(4)
申请年 2021(9)
专利权人