国家/地区 | 中国(4) 美国(3) 欧洲专利局(EPO)(2) |
IPC部 |
C(9)![]() |
IPC大类 |
C23(9)![]() |
IPC小类 |
C23C(9)
C01B(5)
B82Y(3)
H01L(2) |
IPC |
C23C016/01(9)![]() |
发明人 | |
公开年 | 2021(4) 2022(4) |
申请年 |
2021(9)![]() |
专利权人 |
GALIOTIS C, ANAGNOSTOPOULOS G, PASTORE CARBONE M G, PATERAKIS G, KOTSIDI M, GORGOLIS G
XIANG J, JIA M, HAN T, TANG L
MERCOLA M, MOLOKANOVA E, SAVTCHENKO A, LIPOMI D J, ZARETSKI A
ELSAYED K A M, MAAROUF A A