| 国家/地区 | 中国(4) 美国(3) 欧洲专利局(EPO)(2) |
| IPC部 |
C(9)
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| IPC大类 |
C23(9)
C01(5)
B82(3)
H01(2) |
| IPC小类 |
C23C(9)
C01B(5)
B82Y(3)
H01L(2) |
| IPC |
C23C016/01(9)
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| 发明人 | |
| 公开年 | 2021(4) 2022(4) |
| 申请年 |
2021(9)
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| 专利权人 |
GALIOTIS C, ANAGNOSTOPOULOS G, PASTORE CARBONE M G, PATERAKIS G, KOTSIDI M, GORGOLIS G
XIANG J, JIA M, HAN T, TANG L
MERCOLA M, MOLOKANOVA E, SAVTCHENKO A, LIPOMI D J, ZARETSKI A
ELSAYED K A M, MAAROUF A A
