国家/地区 中国(6) 美国(2)
IPC部 C(9)
IPC大类 C23(9)
IPC小类 C23C(9) C01B(5) B82Y(2)
G01N(2) H01L(2)
IPC C23C016/01(9)
发明人
公开年 2022(9)
申请年 2022(5)  2021(4) 
专利权人