国家/地区 | 中国(11) 美国(11) 世界知识产权组织(9) 韩国(6) 日本(5) 欧洲专利局(EPO)(4) 英国(2) 新加坡(2) 台湾(2) |
IPC部 |
C(15)![]() |
IPC大类 |
C23(15)
C01(8)
H01(6)
B82(5) C30(3) B01(2) |
IPC小类 |
C23C(15)
C01B(8)
B82Y(5)
H01L(5) C30B(3) B01J(2) |
IPC |
C23C016/02(15)![]() |
发明人 | |
公开年 | 2013(9) 2014(4) 2015(2) |
申请年 |
2013(15)![]() |
专利权人 |
WANG W, GUO S, OZKAN C S, OZKAN M
BORRELLI N F, FEKETY C R, LIU X, SONG Z
WANG Y, YUAN X, ZHONG H, ZHOU M
MOON J, RHO J, PARK S, KIM T, HONG B, PARK W, JUNG M, KIM T H, ROH J
FENG Z, LI J, LIU Q, WEI C, HE Z
KOBAYASHI T, SHIMIZU K, KADONO K, MIZUGUCHI Y, MURAKAMI Y, MIZUKUCHI Y, SUMINO K
GARCES N, WHEELER V D, GASKILL D K, EDDY C R, JERNIGAN G G