国家/地区 美国(12)
IPC部 C(12)
IPC大类 C01(12) C23(12) B82(5)
H01(5) B01(2) C30(2)
IPC小类 C01B(12)
IPC C23C016/02(12)
发明人 NAGEL C J(4) BRODEUR C L(3) NARKEVICIUTE I(2)
VARADARAJAN B N(2)
公开年 2021(12)
申请年 2020(7)  2021(5) 
专利权人 QUANTUM ELEM.(4) LAM RES CORP(2)