国家/地区 |
美国(12)![]() |
IPC部 |
C(12)![]() |
IPC大类 |
C01(12)
C23(12)
B82(5)
H01(5) B01(2) C30(2) |
IPC小类 |
C01B(12)![]() |
IPC |
C23C016/02(12)![]() |
发明人 |
NAGEL C J(4)
BRODEUR C L(3)
NARKEVICIUTE I(2)
VARADARAJAN B N(2) |
公开年 |
2021(12)![]() |
申请年 | 2020(7) 2021(5) |
专利权人 | QUANTUM ELEM.(4) LAM RES CORP(2) |
KOVI K K, SCHIRMANN E, KHAN A
ELSAYED K A M, MAAROUF A A
OEZYILMAZ B, TOH C T, ABIDI I H, OJIYLMAZ B, TOH C, ZHUO Z, OZYILMAZ B
VARADARAJAN B N, NARKEVICIUTE I, SHARMA K
LEE E, SHIN H, SHIN K, BYUN K, KIM C, LEE C, LEE C S, BYUN K E, SHIN K W, SHIN H J