国家/地区 日本(21)
IPC部 B(21)
IPC大类 C01(21)
IPC小类 C01B(21)
IPC C23C016/02(21)
发明人 MATSUMOTO T(3) DATSKOS P G(2) IFUKU R(2)
IVANOV I N(2) VLASSIOUK I V(2)
公开年 2013(5) 2015(3) 2009(2) 2011(2) 2016(2) 2021(2)
申请年 2013(4)  2014(4)  2008(2)  2011(2)  2012(2)  2020(2) 
专利权人 TOKYO ELECTR.(3) SAMSUNG ELEC.(2) UNIV CALIFOR.(2) UTBATTELLE L.(2)