国家/地区 中国(44) 美国(11) 韩国(9) 世界知识产权组织(9) 日本(4) 台湾(4) 欧洲专利局(EPO)(3) 澳大利亚(2)
IPC部 C(55)
IPC大类 C23(55) C01(23) H01(17)
C25(6) B82(5) C22(5)
B22(4) B32(4) A61(3)
G01(3) B01(2) C08(2)
C21(2) C30(2)
IPC小类 C23C(55) C01B(23) H01L(14)
B82Y(5) B22F(4) B32B(4)
A61B(3) C22F(3) C25D(3)
B01J(2) C01G(2) C21D(2)
C22C(2) C23F(2) C25B(2)
IPC C23C016/26(55)
发明人 LI M(4) LI C(3) LI H(3)
LIU Y(3) BYUN K(2) BYUN K E(2)
CAO T(2) CHEN H(2) HUANG S(2)
JIA J(2) KIM S(2) LEE C(2)
LEE C S(2) LEE E(2) LI T(2)
公开年 2021(55)
申请年 2021(55)
专利权人 UNIV TIANJIN.(3) APPLIED MATE.(2) LAM RES CORP(2) NINGBO INST .(2)
SAMSUNG ELEC.(2) TOKYO ELECTR.(2) UNIV DALIAN .(2) UNIV PEKING(2)
UNIV SINGAPO.(2) UNIV SOUTHWE.(2)