国家/地区 美国(29)
IPC部 C(29)
IPC大类 C23(29)
IPC小类 C23C(29) C01B(23) H01L(12)
B82Y(8) C30B(5) H01B(5)
B01J(4) B32B(4) B82B(2)
C04B(2) C08K(2) G03F(2)
H01M(2) H05K(2)
IPC C23C016/26(29)
发明人 CHEN Y(2) DAVIS M A(2) JOUVRAY A(2)
TEO K B K(2) ZHANG X(2)
公开年 2015(14) 2014(12) 2016(3)
申请年 2014(29)
专利权人 AIXTRON SE(2) DAVIS M A(2) SOLAN LLC(2)