国家/地区 日本(7)
IPC部 B(7)
IPC大类 C01(7) C23(7) B01(4)
H01(4) B32(2)
IPC小类 C01B(7)
IPC C23C016/26(7)
发明人
公开年 2016(7)
申请年 2015(4)  2014(2) 
专利权人