国家/地区 世界知识产权组织(10)
IPC部 C(10)
IPC大类 C01(10) C23(10) H01(5)
B82(2) C08(2)
IPC小类 C01B(10)
IPC C23C016/26(10)
发明人 IFUKU R(2) MATSUMOTO T(2) RYOTA I(2)
TAKASHI M(2)
公开年 2020(6) 2019(3)
申请年 2019(10)
专利权人 TOKYO ELECTR.(2)