国家/地区 世界知识产权组织(14)
IPC部 C(14) H(7) B(4)
IPC大类 C23(14) C01(9) H01(7)
B21(2) B82(2) C25(2)
IPC小类 C23C(14) C01B(9) H01B(4)
H01L(3) B82Y(2)
IPC C23C016/26(14)
发明人 KIM H K(2) KIM Y K(2)
公开年 2017(8) 2018(6)
申请年 2017(14)
专利权人 KOREA ELECTR.(2)