国家/地区 中国(11) 美国(9) 韩国(6) 世界知识产权组织(6) 欧洲专利局(EPO)(4) 日本(4) 台湾(3)
IPC部 C(15)
IPC大类 C23(15) H01(9) C01(4)
B82(3) C10(2) C30(2)
F16(2) G01(2)
IPC小类 C23C(15) H01L(7) C01B(4)
B82Y(3) C10M(2) C30B(2)
IPC C23C016/34(15)
发明人
公开年 2021(15)
申请年 2020(9)  2021(5) 
专利权人