| 国家/地区 | 中国(11) 美国(9) 韩国(6) 世界知识产权组织(6) 欧洲专利局(EPO)(4) 日本(4) 台湾(3) |
| IPC部 |
C(15)
|
| IPC大类 |
C23(15)
H01(9)
C01(4)
B82(3) C10(2) C30(2) F16(2) G01(2) |
| IPC小类 |
C23C(15)
H01L(7)
C01B(4)
B82Y(3) C10M(2) C30B(2) |
| IPC |
C23C016/34(15)
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| 发明人 | |
| 公开年 |
2021(15)
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| 申请年 | 2020(9) 2021(5) |
| 专利权人 |
ELSAYED K A M, MAAROUF A A
LEE J, HYEON S H, HYEONG S
MURAKAMI K, NAGAO M, KATSUHISA M, MASAYOSHI N
LI J, LUO J, ZHANG R, SUN S
VARADARAJAN B N, NARKEVICIUTE I, SHARMA K
HAVERMANS D, SALLARD S, SHAFIQUE A, VANGENEUGDEN D, VANHULSEL A, HARDY A, SALAH S, SHAFIK A, VAN GENUGDEN D, HARDY N
SCHWEIGKOFLER M, VENGUDUSAMY B, SEEMEYER S, LODERER D
HUANG L, LU H, MA Z, WANG C, FANG M, CAI G, GAO J, HUANG S
