国家/地区 日本(14)
IPC部 B(14)
IPC大类 C01(14)
IPC小类 C23C(14) C01B(13) B82Y(10)
B01J(7) B82B(3) H01B(3)
H01L(3) C08K(2) C23F(2)
C30B(2)
IPC C23C016/44(14)
发明人
公开年 2013(3) 2021(3) 2011(2) 2015(2)
申请年 2011(2)  2012(2)  2014(2)  2021(2) 
专利权人