国家/地区 |
日本(14)![]() |
IPC部 |
B(14)![]() |
IPC大类 |
C01(14)![]() |
IPC小类 |
C23C(14)
C01B(13)
B82Y(10)
B01J(7) B82B(3) H01B(3) H01L(3) C08K(2) C23F(2) C30B(2) |
IPC |
C23C016/44(14)![]() |
发明人 | |
公开年 | 2013(3) 2021(3) 2011(2) 2015(2) |
申请年 | 2011(2) 2012(2) 2014(2) 2021(2) |
专利权人 |
PEPIN P, ETHRIDGE K, THOMSON C, HOLBROOK B, ESRIDGE K
NAGEL C J, BRODEUR C L, NAZEL C A J, BRODARD C L
SWETT J L, BEDWORTH P V, HEISE S E, SINTON S W, SIMON S M
CASTRO A H, OZYILMAZ B, STIER A V, TOH C T, DU Z, CASTRO N A H
DA SILVA A K, FLEMING E, SHI L, BIELAWSKI C W, RUOFF R S, WEN S, JI H, PETTES M, PAUL A, PAEK E, PAK A J, SELLAN D P, FLAMING E, DA SILVAA A K
CHEN Y, LI J, LI Y, ZHANG X, LEE Y
KOBAYASHI T, SHIMIZU K, KADONO K, MIZUGUCHI Y, MURAKAMI Y, MIZUKUCHI Y, SUMINO K