国家/地区 世界知识产权组织(22)
IPC部 C(22)
IPC大类 C23(22) C01(19) H01(11)
B82(5) C30(3) G01(3)
B65(2)
IPC小类 C23C(22) C01B(19) H01L(8)
B82Y(5) C30B(3) B65H(2)
G01N(2) H01M(2)
IPC C23C016/26(22)
发明人 TEO K B K(3) THOMAS S(3) BINDER A(2)
GUINEY I(2) JOUVRAY A(2) VAN RIJN R(2)
WEBER N(2)
公开年 2015(4) 2013(3) 2014(3) 2017(3) 2021(3) 2012(2) 2018(2)
申请年 2013(6)  2014(5)  2017(3)  2016(2)  2020(2) 
专利权人 AIXTRON SE(3) BASF SE(2) PARAGRAF LTD(2) RIJKSUNIV LE.(2)