国家/地区 中国(5) 美国(4) 韩国(2) 世界知识产权组织(2)
IPC部 C(10) H(5) B(2)
IPC大类 C23(10) C01(6) H01(5)
B82(2)
IPC小类 C23C(10) C01B(6) H01L(4)
B82Y(2) H01J(2)
IPC C23C016/52(10)
发明人 NAGEL C J(2)
公开年 2021(10)
申请年 2020(10)
专利权人 QUANTUM ELEM.(2)