国家/地区 | 中国(5) 美国(4) 韩国(2) 世界知识产权组织(2) |
IPC部 |
C(10)
H(5)
B(2)
|
IPC大类 |
C23(10)
C01(6)
H01(5)
B82(2) |
IPC小类 |
C23C(10)
C01B(6)
H01L(4)
B82Y(2) H01J(2) |
IPC |
C23C016/52(10)![]() |
发明人 | NAGEL C J(2) |
公开年 |
2021(10)![]() |
申请年 |
2020(10)![]() |
专利权人 | QUANTUM ELEM.(2) |
LEE J, HYEON S H, HYEONG S
SONG Y, ZHAO Z, SUN Z, CHEN Y
VARADARAJAN B N, NARKEVICIUTE I
SHARDA T, BHANDARI R, RAJNEESH B, TARUN S