国家/地区 中国(8)
IPC部 C(8)
IPC大类 C23(8) H01(5) C01(3)
IPC小类 C23C(8) C01B(3) H01L(3)
H01B(2)
IPC C23C016/26(8)
发明人 FAN T(2) GUO C(2) LIU Y(2)
YAO S(2)
公开年 2021(5) 2020(3)
申请年 2020(8)
专利权人 UNIV SHANGHA.(2)