国家/地区 日本(8)
IPC部 B(8)
IPC大类 B01(8)
IPC小类 C01B(8)
IPC C23C016/56(8)
发明人 BEDWORTH P V(2) HEISE S E(2) IFUKU R(2)
MATSUMOTO T(2) SINTON S W(2) SWETT J L(2)
公开年 2017(2) 2021(2)
申请年 2016(2)  2020(2) 
专利权人 LOCKHEED MAR.(2) TOKYO ELECTR.(2)