国家/地区 美国(16)
IPC部 C(16)
IPC大类 C25(16) C01(13) B32(10)
B82(5) H01(4) B01(2)
B05(2) C23(2)
IPC小类 C25F(16) C01B(13) B32B(10)
B82Y(5) C25D(5) C25B(4)
H01L(4) B01J(2) B05D(2)
C23C(2)
IPC C25F005/00(16)
发明人 GUO L(4) HAN S(4) LI X(4)
HUYGHEBAERT C(2)
公开年 2014(5) 2015(3) 2013(2) 2017(2)
申请年 2012(6)  2013(3)  2017(3) 
专利权人 INT BUSINESS.(4) IMEC VZW(2)