国家/地区 中国(10) 美国(5) 日本(3) 欧洲专利局(EPO)(2)
IPC部 B(17)
IPC大类 H01(17) B82(15) C01(6)
C23(3) B05(2)
IPC小类 H01J(17) B82Y(12) C01B(6)
B82B(4) C23C(3) H01B(3)
B05D(2)
IPC H01J001/304(17)
发明人 CHEN H(2) CHOI J(2) DENG J(2)
DING J(2) LI K(2) LI Z(2)
SONG G(2)
公开年 2018(5) 2013(2) 2016(2) 2021(2)
申请年 2017(3)  2002(2)  2016(2)  2018(2)  2020(2) 
专利权人 SAMSUNG ELEC.(2) UNIV QINGDAO.(2) UNIV TIANJIN.(2) UNIV XIAN SH.(2)