国家/地区 美国(6) 世界知识产权组织(4) 韩国(3) 中国(2) 台湾(2)
IPC部 B(8)
IPC大类 B01(8)
IPC小类 B01J(8) H01J(8) C01B(7)
B82Y(4) C23C(4) H01L(2)
H05H(2)
IPC H01J037/32(8)
发明人 ANZELMO B H(2) STOWELL M W(2)
公开年 2021(2)
申请年 2013(2)  2020(2) 
专利权人 LYTEN INC(2)