| 国家/地区 | 美国(7) 中国(6) 韩国(4) 澳大利亚(3) 欧洲专利局(EPO)(3) 日本(3) 世界知识产权组织(3) 加拿大(2) |
| IPC部 |
B(12)
|
| IPC大类 |
C23(12)
C01(10)
B82(7)
B01(3) H01(3) B22(2) B32(2) C25(2) |
| IPC小类 |
C23C(12)
C01B(9)
B82Y(7)
B01J(2) B22F(2) B32B(2) C23F(2) H01G(2) H01L(2) |
| IPC |
C23C016/02(12)
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| 发明人 | NAGEL C J(4) BRODEUR C L(3) |
| 公开年 |
2021(12)
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| 申请年 | 2020(7) 2021(5) |
| 专利权人 | QUANTUM ELEM.(4) |
ELSAYED K A M, MAAROUF A A
BURGGRAF J, JUERGEN B
CHOI K, PARK H G, HEIGHT M, CHOI K J, PARK H, PIAO H
