国家/地区 美国(7) 中国(6) 韩国(4) 澳大利亚(3) 欧洲专利局(EPO)(3) 日本(3) 世界知识产权组织(3) 加拿大(2)
IPC部 B(12)
IPC大类 C23(12) C01(10) B82(7)
B01(3) H01(3) B22(2)
B32(2) C25(2)
IPC小类 C23C(12) C01B(9) B82Y(7)
B01J(2) B22F(2) B32B(2)
C23F(2) H01G(2) H01L(2)
IPC C23C016/02(12)
发明人 NAGEL C J(4) BRODEUR C L(3)
公开年 2021(12)
申请年 2020(7)  2021(5) 
专利权人 QUANTUM ELEM.(4)