国家/地区 美国(38) 韩国(34) 中国(30) 世界知识产权组织(20) 日本(17) 欧洲专利局(EPO)(13) 台湾(5) 澳大利亚(3) 加拿大(3) 新加坡(3) 巴西(2) 墨西哥(2) 波兰(2)
IPC部 C(78)
IPC大类 C01(78)
IPC小类 C23C(78)
IPC C23C016/26(54) C01B031/04(44) C01B032/186(20)
C01B032/182(16) C23C016/02(11) C23C016/455(10)
H01L021/02(10) B82Y030/00(9) C01B032/194(9)
C23C014/18(9) C23C016/01(9) H01L029/16(9)
B82Y040/00(8) C01B032/15(8) C01B032/184(8)
发明人 LEE Y T(9) AIDA H(5) AOTA N(5)
LIU X(4) BEDWORTH P V(3) SHI H(3)
SINTON S W(3) BABUL T(2) BARANOWSKI M(2)
GAO X(2) GUO H(2) HEISE S E(2)
JIANG H(2) JIANG W(2) JONCZYK S(2)
公开年 2017(42) 2016(27) 2018(8)
申请年 2016(78)
专利权人 LEE Y T(9) NAMIKI SEIMI.(5) CHINESE ACAD.(3) CORNING INC(3)
KOREA INST S.(3) LOCKHEED MAR.(3) SAMSUNG ELEC.(3) SHANGHAI INS.(2)
TOKYO ELECTR.(2) UNIV CALIFOR.(2) ZHENJIANG BR.(2)