国家/地区 韩国(14) 美国(4)
IPC部 C(14)
IPC大类 C01(11) B82(6) H01(4)
B01(2) C09(2) C23(2)
G01(2)
IPC小类 C01B(11) B82B(5) H01L(3)
B01J(2) C01G(2) C23C(2)
G01N(2)
IPC C01B031/04(8) B82B003/00(5) C01B031/02(5)
C23C016/26(2) H01L029/786(2)
发明人 JEON S W(3) LEE J S(3) BAEK J W(2)
JEON S(2) KIM J D(2) LEE K S(2)
OH I K(2)
公开年 2015(14)
申请年 2014(11)  2013(3) 
专利权人 KOREA ADVANCED INST SCI TECHNOLOGY(14)