国家/地区 美国(8)
IPC部 C(8)
IPC大类 C23(8) C01(6) C30(3)
H01(3)
IPC小类 C23C(8) C01B(6) C30B(3)
H01L(2)
IPC C23C014/06(8)
发明人
公开年 2017(5) 2016(3)
申请年 2016(8)
专利权人