国家/地区 欧洲专利局(EPO)(33)
IPC部 B(33)
IPC大类 B82(33)
IPC小类 C01B(33)
IPC C23C016/26(33)
发明人 CASTRO A H(2) CHOE P(2) CHOI B(2)
CHOI B L(2) HWANG T(2) LEE E(2)
LEE E K(2) WHANG D(2) WHANG D M(2)
ZENASNI A(2)
公开年 2013(10) 2015(5) 2011(4) 2012(4) 2016(3) 2017(2)
申请年 2013(7)  2011(6)  2012(6)  2014(4)  2010(2)  2015(2)  2016(2) 
专利权人 SAMSUNG ELEC.(3) COMMISSARIAT.(2) COMMISSARIAT.(2) UNIV SINGAPO.(2)